簡要描述:OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源,三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)(量程為1-100SCCM,1-200SCCM,1-200SCCM),直徑為60mm的開啟式管式爐(帶真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。
產(chǎn)品分類
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儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),冶金,航天,綜合 |
技 術(shù) 參 數(shù) | |||||||
規(guī)格型號 | 最高溫度 | 加熱區(qū)長度 | 加熱區(qū)長度 | 額定功率 | 額定電壓 | 外型尺寸 | 重量 |
OYS-1200C-SL | 1200℃(<0.5 h) | Φ25*1000mm | 440mm(單溫區(qū)) | 3.1 KW | AC220V | 1680mm*490mm*700mm | 約75KG |
●●●●爐體結(jié)構(gòu):采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度;爐膛采用高純氧化鋁纖維材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命,帶有過熱和斷偶保護(hù),開門斷電,提高實驗安全性;爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。
●控溫系統(tǒng):包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9 PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
●爐管:高純石英管φ100*1000mm,鍍鉻鋼制成的雙滑軌,手動滑軌長度1400mm。
●真空法蘭:
◎配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。
◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。
◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應(yīng)氣體。
◎一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。
◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進(jìn)氣口,出氣端配有獨立的Φ9.2mm排氣口和球閥,設(shè)備預(yù)留KF25抽氣口和KF16真空計連接口,可連接真空組件。
●真空組件:
◎配齊真空泵1臺(抽速≥16m3/h,真空度≤5.0X10-1Pa)
◎電阻真空計1套
◎手動擋板閥1個
◎波紋管1根
◎油霧過濾器1套
◎卡箍(型號:KF25)≥3個,以及相應(yīng)連接件
●極限真空度:≤1Pa(冷態(tài)空載)
●進(jìn)氣:
◎配浮子流量計1套,量程可選,安裝在設(shè)備上;
◎氣瓶配備氣體減壓閥1套
●標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管 ≥1 支,莫來石管堵 ≥1 對,不銹鋼法蘭 ≥1 套,硅膠密封圈 ≥2 套,高溫手套 ≥1 副,爐鉤 ≥1 支
●認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件:整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn);核心零部件有ABB電器元件,UL認(rèn)證電線、電纜,歐米茄,宇電、歐陸儀表等。
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